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苏州摩星真空科技有限公司
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当前位置: {幸运彩官网官网主词} > 应用案例 > 磁控溅射(钛金)镀膜

单室磁控溅射镀膜机

1.改造方案

采用3台MB200D分子增压泵+1台2XZ-15旋片泵,取代磁控溅射镀膜设备(Φ1000×1200)的3台1,200L/s复合分子泵+3台2XZ-15旋片泵+1台ZJ-300罗茨泵幸运彩官网官网幸运彩官网官网。

或者取代1台K-500扩散泵+1台ZJ-300罗茨泵+1台2XZ-70泵旋片泵。

2.经济效益

1)节能50-80%幸运彩官网官网幸运彩官网官网,年节电3-6万度幸运彩官网官网。

2)一年节省的电费可收回设备费用。

3)消除粗抽和镀膜阶段的油蒸汽污染幸运彩官网官网幸运彩官网官网,提高镀膜产品的质量。

4)磁控镀膜阶段:抽速增加至传统设备的1.2

-2倍,活性气体分压强显著降低幸运彩官网官网幸运彩官网官网。

5)粗抽泵可供多套设备共用幸运彩官网官网幸运彩官网官网。

3. 特别关注:

1)粗抽阶段:

 粗抽泵将镀膜室的压强抽得太低幸运彩官网官网,基片会受油蒸汽污染幸运彩官网官网幸运彩官网官网幸运彩官网官网。应抽至约50Pa幸运彩官网官网幸运彩官网官网幸运彩官网官网。

2)精抽阶段:

■精抽目的是降低镀膜室的放气率Qd , Qd = Po×Se 幸运彩官网官网,本底压强Po不是精抽的判据幸运彩官网官网!

■放气率相同,有效抽Se越大幸运彩官网官网,Po越低幸运彩官网官网幸运彩官网官网幸运彩官网官网。Se越小,Po越高。

■不同抽速的泵,  只要将放气率降至相同幸运彩官网官网,则精抽效果相同幸运彩官网官网幸运彩官网官网。分子增压泵的Se为扩散泵的60%幸运彩官网官网幸运彩官网官网, 本底压强Po应为扩散泵的1.6倍幸运彩官网官网幸运彩官网官网。

■降低放气率的措施:提高烘烤温度幸运彩官网官网,增加烘烤时间,与真空度(即精抽泵的抽速)关系不大幸运彩官网官网幸运彩官网官网。本例中幸运彩官网官网幸运彩官网官网,精抽抽速降低幸运彩官网官网幸运彩官网官网,因粗抽时间缩短,烘烤时间有所增加,精抽质量反而提高。

2)溅射镀膜阶段:

■镀膜阶段主要真空质量指标:活性气体分压强Pi , Pi = Qd /Sc, Sc为镀膜阶段的有效抽速幸运彩官网官网。故放气率相同时幸运彩官网官网,有效抽速Sc越大幸运彩官网官网,活性气体分压强Pi越低,镀膜真空环境越好幸运彩官网官网。

■磁控放电压强约0.5Pa幸运彩官网官网。扩散泵稳定工作压强约8×10-2Pa,分子泵0.5 Pa的抽速明显下降幸运彩官网官网幸运彩官网官网幸运彩官网官网幸运彩官网官网,故均需采用节流技术幸运彩官网官网。

■节流使真空泵的有效抽速显著降低幸运彩官网官网。扩散泵节流后的抽速仅为标称抽速1/6,  负面影响显著幸运彩官网官网。节流是一种无奈之举幸运彩官网官网。

■分子增压泵的最高工作压强达100Pa幸运彩官网官网幸运彩官网官网,不需要节流,抽速全部利用。因此幸运彩官网官网,溅射镀膜时, 一台分子增压泵可以取代抽速6倍的扩散泵幸运彩官网官网,抽速1.5倍的传统分子泵幸运彩官网官网幸运彩官网官网。


单室磁控溅射镀膜机


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