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开创真空技术新时代

2019-07-19


开创真空技术新时代引领真空产业新未来


记深圳大学储继国教授和新一代低碳、无油大抽速真空机组本刊记者赵林

机组”)。为加快“低碳、无油机组”产业化和推广应用的步伐做出了突出贡献,我国真空产业有望超越发达国家率先淘汰扩散泵,进入真空产业的最高境界

低碳、

油真空新时代3


三大难题困扰真空产业发展


分子泵厂家随着真空技术的发展,真空应用日渐扩大到工业和科学研究各个方面,真空技术提供了除太空之外最清洁的环e以


境,径流分子泵,现已成为众多高新科技产业和重大科研装备的技术基础。然而,真空产业自身并未能跟上发展的步伐,存在三大难题一直未能攻克:

分子泵厂家.jpg

“油蒸汽污染”,油蒸汽是比真空度更重要的性能指标,真空技术是国家工业发展的基础,在航天、军事直接影响真空产品质量。目前中、小型高真空设备,普遍生活中都具有重要的作用。人类最早获得真空并开发真采用分子泵抽气,油蒸汽污染已降至较低的水平,但在大空应用的国家是中国,上世纪七十年代湖南马王堆古墓型高真空设备领域(例如蒸发镀膜、真空烧结、真空钎焊的出土文物中,就有2000多年前,由中国人发明的、世和真空热处理等),设备体积庞大、气体负载重、需要大界最早的真空泵

分子泵厂家径流分子泵,”,该项发明成功用于医抽速(≥几万1s)的真空机组抽气,目前普遍采用“扩散疗和保健领域。然而,2000年之后,世界在用的几十种泵机组”抽气,市场占有率高达98%。然而,扩散泵利用油“近代真空泵”中,再也找不到中国人发明的泵种,目蒸汽喷射流抽气,油蒸汽污染严重


前世界上中、高真空泵主要由罗茨泵、扩散泵和分子泵能耗高”,扩散泵需要连续不断地蒸发、冷凝油蒸汽,3大类组成。


能耗很高。以蒸发镀膜设备为例,其配置的扩散泵机组近些年,我国对真空泵的需求逐年递增,由深圳大学功率高超过60kW,每台设备(2班制),耗电达25万度/年,物理科学与技术学院储继国教授带领科研团队人,自主创新,按我国在用大型高真空设备4万台测算,耗电总量达100亿突破一系列关键技术,成功研发世界第一台低成本、无油、度/年。


大抽速高真空机组一电弧化学吸附泵机组(简称“电弧泵抽气利用率低,在很多场合,真空设备需要高真空的2中国科技投资 CHINA VENTUR



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